前些天，意大利公布了一个国家级的碳化硅衬底项目；近日，该项目的建设方“露真容”了——意法半导体，他们将投资超过50亿元，在意大利建设年产超过37万片的衬底项目，实现从衬底到晶圆制造的全产业链布局。
今年以来，全球SiC衬底迎来扩产热潮，据不完全统计，这些扩产案例涉及投资金额超180亿元、产能扩充超24倍！
50亿、37万片
意法建SiC衬底厂
10月5日，意法半导体官网宣布，在法国“国家复苏暨韧性计划（National Recovery and Resilience Plan）”的支持下，他们将在意大利卡塔尼亚新建一个SiC衬底工厂，借此实现40%碳化硅衬底的自主供应。该项目的年产能为37万片以上，未来五年内投资约7.3亿欧元（约50.6亿人民币）。
该项目与意法半导体现有的SiC器件制造工厂同位于意大利卡塔尼亚工厂，是意法半导体推进SiC业务垂直整合战略的关键一步，也将成为欧洲首个可以批量生产6吋SiC衬底的工厂；未来，该工厂产品将向大尺寸过渡，致力于开发8吋SiC衬底。
据悉，该新工厂从2021年开始计划建造。2021年5月，意法半导体对外采购碳化硅晶体生长生产系统，推进其8吋产线建设进程；同年11月，意法半导体宣布将投资数亿欧元建设卡塔尼亚新工厂，以专门生产Norstel研发的SiC衬底。
据了解，意法半导体的衬底工厂预计将于2023年开始生产，而根据欧盟委员会的公告，该项目计划于2026年竣工。
此外，欧盟委员会已经批准了一项措施，将为意法半导体的碳化硅衬底项目提供2.925亿欧元（约20.27亿人民币）的直接赠款。
合计超180亿，产能提升超24倍
国外开启扩产大潮
近年来不断扩大的市场需求，成为了碳化硅衬底厂商扩产的最大推动力。除了意法半导体，Wolfspeed、安森美及II-VI等多家国外企业陆续宣布在衬底端进行扩产，合计投资额超180亿元。
◆9月9日，Wolfspeed官网宣布，他们将投资约13亿美元（约90亿人民币），在北卡罗来纳州新建一个号称世界上最大的碳化硅衬底工厂。新工厂计划建于查塔姆县（Chatham County），查塔姆新工厂建成将使他们的碳化硅产能增加10倍以上，主要生产8吋碳化硅衬底，供应Wolfspeed的纽约莫霍克谷工厂。
◆9月1日，SK Siltron CSS密歇根州贝城的SiC衬底新工厂正式建成投产，他们计划今年将6英寸SiC衬底的产能提高到12万片/年，未来目标年产能冲50万片。
◆8月9日，安森美哈德逊的碳化硅新工厂已完成扩建，计划将衬底产能扩充5倍。
◆5月18日，日本OXIDE公司披露了碳化硅长晶等项目的业务计划。根据公告，OXIDE于今年2月投资4亿日元（约2100万人民币），用于建设第五个工厂，该工厂专注于开发超高质量的8英寸SiC晶圆。
◆今年3月，II-VI对宾夕法尼亚州的工厂进行大规模的扩建，总投资额近64亿元。II-VI执行副总裁 Sohail Khan表示，通过这次扩建，未来五年内，SiC衬底产量将增加至少6倍，计划到2027年将达到相当于年产100万片6英寸衬底。
◆3月28日，昭和电工宣布，已经开始量产6英寸SiC单晶衬底。他们在碳化硅衬底方面的扩产资金约为3.4亿人民币，该扩产项目预计要到2023年12月完工。
◆3月11日，Soitec宣布将投资约23亿人民币，在法国伯宁总部建设Bernin 4新工厂，目标产能为50万片/年。
