碳化硅半导体行内测试标准

浏览: 作者: 来源: 时间:2021-11-11 分类:知识驿站
碳化硅半导体相关团体标准列表
序号团体名称标准编号标准名称公布日期状态链接
1北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 014—2021碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法2021/11/4现行查看
2北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 013—2021碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法2021/11/4现行
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3中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 001—2021碳化硅单晶2021/9/22现行查看
4中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 014—2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法2021/9/15现行查看
5浙江省品牌建设联合会T/ZZB 2283—2021半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉2021/9/3现行查看
6中关村标准化协会T/ZSA 38—2020SiC晶片的残余应力检测方法2020/12/31现行查看
7北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 006—2020碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管通用技术规范2020/12/29现行查看
8北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 007—2020电动汽车用碳化硅(SiC)场效应晶体管(MOSFET)模块评测规范2020/5/25现行查看
9中关村标准化协会T/ZSA 72—2019碳化硅单晶2020/1/3现行查看
10中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 013—2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法2019/12/30现行查看
11中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 012—2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法2019/12/30现行查看
12中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 011—2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法2019/12/30现行查看
13中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 010—2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法2019/12/30现行查看
14中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 008—2019SiC晶片的残余应力检测方法2019/12/30现行查看
15北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 009—2019半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法2019/12/2现行查看
16京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 004.2—20184H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱2019/12/2现行查看
17北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 004.1—20184H碳化硅衬底及外延层缺陷术语2019/12/2现行查看
18北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 003—2018p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片2019/12/2现行查看
19北京第三代半导体产业技术创新战略联盟T/CASAS 001—2018碳化硅肖特基势垒二极管通用技术规范2019/12/2现行查看
20中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 007—20184H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法2019/4/12现行查看
21中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 006—2018碳化硅混合模块测试方法2019/4/12现行查看
22中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 005—20186 英寸碳化硅单晶抛光片2019/4/12现行查看
23浙江省品牌建设联合会T/ZZB 0686—2018高性能无压烧结碳化硅密封环2019/3/1现行查看
24中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 003—2017碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法2018/4/18现行查看
25中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟T/IAWBS 002—2017碳化硅外延片表面缺陷测试方法2018/4/18现行查看

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